鉭濺射靶材、鉭鎢合金靶材規格:直徑（50-400）mm *厚度(3-28)mm 牌號：RO5200， RO5400， RO5252(Ta-2.5W)， RO5255(Ta-10W)純度：>=99.95％(最大99.99％)成份說明:Ta99.95 ％最少O0.0120 ％最大C0.0040 ％最大N0.0040 ％最
鉭濺射靶材、鉭鎢合金靶材
規格:直徑（50-400）mm *厚度(3-28)mm
牌號：RO5200， RO5400， RO5252(Ta-2.5W)， RO5255(Ta-10W)
純度：>=99.95％(最大99.99％)
成份說明:
|
Ta |
99.95 ％最少 |
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O |
0.0120 ％最大 |
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C |
0.0040 ％最大 |
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N |
0.0040 ％最大 |
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H |
0.0010 ％最大 |
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S |
0.0001 ％最大 |
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Al |
0.0005 ％最大 |
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Ca |
0.0005 ％最大 |
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Cd |
0.0005 ％最大 |
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Cl |
0.0005 ％最大 |
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Co |
0.0005 ％最大 |
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Cr |
0.0005 ％最大 |
|
Cu |
0.0005 ％最大 |
|
Fe |
0.0005 ％最大 |
|
Hf |
0.0005 ％最大 |
|
K |
0.0001 ％最大 |
|
Li |
0.0001 ％最大 |
|
Mg |
0.0005 ％最大 |
|
Mn |
0.0005 ％最大 |
|
Mo |
0.0030 ％最大 |
|
Na |
0.0001 ％最大 |
|
Nb |
0.0350 ％最大 |
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Ni |
0.0005 ％最大 |
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Pb |
0.0005 ％最大 |
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Si |
0.0005 ％最大 |
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Sn |
0.0005 ％最大 |
|
Ti |
0.0005 ％最大 |
|
Th |
0.0050 ％最大 |
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V |
0.0005 ％最大 |
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W |
0.0050 ％最大 |
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Zn |
0.0005 ％最大 |
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Zr |
0.0005 ％最大 |
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Y |
0.0005 ％最大 |
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U |
0.0050 ％最大 |
|
其它 |
0.0005 ％最大 |
再結晶 :95％最少
晶粒度 :最小40μm
表面粗糙度: Ra 0.4 最大
平整度:0.1mm or 0.10％ 最大.
公差:直徑公差+/- 0.254
如有特殊要求，雙方具體商定
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